mems微懸臂梁可靠性研究現(xiàn)狀.doc

mems微懸臂梁可靠性研究現(xiàn)狀 ，該論文關(guān)于理工,建筑,道路,橋梁,公路,機械。
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MEMS微懸臂梁可靠性研究 現(xiàn)狀 論文關(guān)鍵詞：MEMS　微懸臂梁　可靠度論文摘要： MEMS(Micro-electronicsMechanical System)的可靠性已經(jīng)成為它能否成功地實現(xiàn)產(chǎn)品化的一個 重要問題。
多晶硅微懸臂梁是MEMS中的一個基本結(jié)構(gòu)，作為 機電結(jié)合的元件，在MEMS中具有不可替代的位置。
本文就近 年來國內(nèi)外所開展的有關(guān)多晶硅微懸臂梁的在多種失效機理 下可靠性研究情況進行了綜述，并對今后這一領(lǐng)域的研究方 向進行了展望。
Keywords:MEMS;micro-cantilever; reliabilityAbstract:ThereliabilityofMEMSisa keyproblemforitscommercialapplication.Poly siliconmicrocantileversisabasicstructure,as acombinationofmechanicalandelectrical components,placeanirreplaceablepartinMEMS.In thispaper,athomeandabroadinrecentyears carriedoutbytherelevantsiliconmicro-cantilever inavarietyofthefailuremechanismunderthe reliabilityoftheresearcharereviewed,The prospectiveresearchdirectionsoftheReliability 1forpolysiliconmicrocantileverinthefuture areforecasted. 　　1引言微 電子機械系統(tǒng)簡稱MEMS(Micro ElectroMechanical Systems)已廣泛用于國防、醫(yī)療、航空航天、汽車等領(lǐng)域， 如今人們已不滿足于MEMS某些系統(tǒng)功能的實現(xiàn)，而更多地關(guān) 注MEMS結(jié)構(gòu)的優(yōu)化設計、工作的穩(wěn)定性和可靠性等問題。
這 就對所用的材料、結(jié)構(gòu)力學的性能檢測和破壞機理的研究提 出了新的要求。
微機構(gòu)的材料特性，包括殘余應力、應變、 彈性變量、硬度、抗拉強度、熱導率和熱擴散率等，是決定 微機械特性的重要參數(shù)。
懸臂梁是MEMS器件中常見的可動結(jié) 構(gòu)，作為機電結(jié)合的元件，在MEMS中具有不可替代的位置。
MEMS器件在工作時會受到靜電力或其它靜態(tài)載荷的作用，同 時器件在存儲、運輸和使用的過程中也將受到不同程度的沖 擊和碰撞，在沖擊作用下，MEMS器件可能會發(fā)生斷裂、分層 和粘附等