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高階諧振模態(tài)的超高質(zhì)量分辨硅微懸臂梁壓阻傳感器.pdf

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高階諧振模態(tài)的超高質(zhì)量分辨硅微懸臂梁壓阻傳感器 ，開發(fā)了一種在空氣中具有幾十飛克質(zhì)量分辨率的諧振式微機械懸臂梁生化質(zhì)量檢測傳感器. 在懸臂梁上面實現(xiàn)了使用惠斯通壓阻電橋檢測和洛倫茲力線圈驅(qū)動集成結(jié)構(gòu). 與通常的一階模態(tài)諧振傳感器不同,為了顯著提高傳感器特異性反應(yīng)...歡迎下載！
3 11 11 222 1 第 27卷 　第 8期 半 　導(dǎo) 　體 　學(xué) 　報 Vol.27　No.8 2006年 8月 CHINESEJOURNALOFSEMICONDUCTORSAug.,2006 高階諧振模態(tài)的超高質(zhì)量分辨硅微 懸臂梁壓阻傳感器 劉 　劍 　李昕欣 　金大重 　劉 　民 　王躍林 　左國民 　余海濤 　包菡涵 (中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所傳感技術(shù)國家重點實驗室,上�！�200050) 3 摘要:開發(fā)了一種在空氣中具有幾十飛克質(zhì)量分辨率的諧振式微機械懸臂梁生化質(zhì)量檢測傳感器.在懸臂梁上面 實2現(xiàn)2了使用惠斯2通2壓阻電橋檢測和洛倫茲力線圈驅(qū)動集成結(jié)構(gòu).與通常的一階模態(tài)諧振傳感器不同,為了顯著提 高傳


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