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考慮微磁芯磁阻的分布參數(shù)微梁執(zhí)行器小信號宏模型.pdf
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考慮微磁芯磁阻的分布參數(shù)微梁執(zhí)行器小信號宏模型 ,以多級彎曲磁微梁執(zhí)行器為研究對象,先采用梁的模態(tài)函數(shù)線性組合來逼近梁的變形曲線,然后利用磁路定律,考慮了在宏觀磁執(zhí)行器中忽略的磁芯磁阻,建立了考慮力-磁耦合的非線性方程組,克服了以往的磁微執(zhí)行器模型不能考慮力?泊...歡迎下載!
3 2 22 2 2222 2 2 2 第 26卷 第 8期 半 導(dǎo) 體 學(xué) 報 Vol.26 No.8 2005年 8月 CHINESEJOURNALOFSEMICONDUCTORSAug.,2005 考慮微磁芯磁阻的分布參數(shù)微梁執(zhí)行器 小信號宏模型 方玉明1,2 黃慶安1 李偉華1 (1東南MEMS教育部重點實驗室,南京 210096) 3(2南京郵電學(xué)院信息工程系 ,南京 210003) 22228
3 2 22 2 2222 2 2 2 第 26卷 第 8期 半 導(dǎo) 體 學(xué) 報 Vol.26 No.8 2005年 8月 CHINESEJOURNALOFSEMICONDUCTORSAug.,2005 考慮微磁芯磁阻的分布參數(shù)微梁執(zhí)行器 小信號宏模型 方玉明1,2 黃慶安1 李偉華1 (1東南MEMS教育部重點實驗室,南京 210096) 3(2南京郵電學(xué)院信息工程系 ,南京 210003) 22228
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