扭梁懸臂梁支撐的扭擺式MEMS永磁雙穩(wěn)態(tài)機(jī)構(gòu).pdf

扭梁懸臂梁支撐的扭擺式MEMS永磁雙穩(wěn)態(tài)機(jī)構(gòu) ，在進(jìn)行理論分析證實(shí)可行性和模擬仿真優(yōu)化參數(shù)后,利用非硅表面微加工方法中的犧牲層工藝制備了一種扭梁懸臂梁支撐的扭擺式MEMS永磁雙穩(wěn)態(tài)機(jī)構(gòu). 該雙穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)尺寸為1.9mm×1.6mm×0.03mm,通過永磁力實(shí)現(xiàn)穩(wěn)...歡迎下載！
3 111 1222 2 第 27卷 　第 1期 半 　導(dǎo) 　體 　學(xué) 　報(bào) Vol.27　No.1 2006年 1月 CHINESEJOURNALOFSEMICONDUCTORSJan.,2006 扭梁懸臂梁支撐的扭擺式 MEMS永磁 雙穩(wěn)態(tài)機(jī)構(gòu) 姜 　政 　丁桂甫 　王 　艷 　張東梅 　王志明 　馮建智 3(上海交通微納科學(xué)技術(shù)研究院,上海　200030) 摘2要2:在進(jìn)行理2論2分析證實(shí)可行性和模擬仿真優(yōu)化參數(shù)后 ,利用非硅表面微加工方法中的犧牲層工藝ν制備了一種 扭梁懸臂梁支撐的扭擺式 MEMS永磁雙穩(wěn)態(tài)機(jī)構(gòu).該雙穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)尺寸為19mm×16mm×003mm,通過永磁力 實(shí)現(xiàn)穩(wěn)態(tài)姿態(tài)無功耗保持 ,通過對(duì)其單側(cè)觸點(diǎn)施加縱向驅(qū)動(dòng)力使之達(dá)到 30μm的縱向驅(qū)動(dòng)位移 ,可以實(shí)現(xiàn)機(jī)